干式真空泵 A4X 系列
上海伯东德国 Pfeiffer 干式真空泵 A4X 系列适合半导体、光伏等腐蚀性强的行业，干式真空泵抽速从 160 到 1,700 m3/h 满足不同需求，特殊的耐腐蚀工艺设计保证干式真空泵 A4X 系列使用寿命大幅提高，有效降低了企业成本。
干式真空泵 A4X 系列核心优势：
耐腐蚀设计，使用寿命长
通过 Semi S2-0712 和 UL 61010 标准
特殊设计，避免真空泵发生爆裂或可冷凝物沉积
配置氮气吹扫阀，耐粉尘
干式真空泵 A4X 系列应用：
半导体：（蚀刻、PECVD、SACVD、ALD 等）
涂料行业：光伏和 LED
干式真空泵 A4X 系列技术参数：
|
型号 |
A 124 H |
A 604 H |
A 1204 H |
A 204 H |
A 804 H |
A 1504 H |
A 1804 H |
|
抽速 m3/h |
110 |
560 |
1150 |
160 |
700 |
1200 |
1700 |
|
极限真空 |
2X10-2 |
2X10-4 |
9X10-4 |
5X10-2 |
2X10-3 |
2X10-3 |
2X10-3 |
|
极限真空 |
5X10-2 |
6X10-3 |
6X10-3 |
2X10-1 |
9X10-3 |
9X10-3 |
9X10-3 |
|
全转速-大进气气流 SLM |
80 |
60 |
55 |
150 |
100 |
100 |
70 |
|
-大功率 KW |
1.5 |
1.9 |
2.3 |
1.8 |
2.2 |
2.6 |
2.6 |
|
-大排气压力hPa |
1200 |
1200 |
1200 |
1200 |
1200 |
1200 |
1200 |
|
进气口 ISO-KF |
DN 50 |
DN 100 |
DN 160 |
DN 50 |
DN 100 |
DN 160 |
DN 160 |
|
重量 kg |
250 |
370 |
530 |
260 |
380 |
540 |
540 |
干式真空泵 A4X 系列抽速：
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