有机材料热蒸镀设备 Organic material
有机金属热沉积系统是一种热蒸发的方式, 用于将有机或金属材料沉积到基板表面上. 该过程需要通过精确控制温度和沉积速率来实现薄膜的高精度和均匀性.
为了达到此要求, 有机材料热沉积系统使用高精准热蒸发源作为加热源, 并使用金属, 石英, 陶瓷或PBN坩埚来容纳有机材料以及PID控制器来控制其沉积速率. 该系统通常用于有机电子研究领域, 例如 OPV, OLED, OPD...
封装系统: 上海伯东代理有机材料热蒸镀设备针对研究等级的实验室, 推出玻璃对玻璃封装的对位压合机构. 整合涂胶系统 (UV或liquid gate) 和紫外光灯可安装于手套箱或是独立的一个压合腔体内, 且可手动进行放片, 也可以透过自动传片系统使用. 可挠式 OLED 必须轻薄且具有可挠曲性, 因此过往的玻璃材料并不适合用于此类的封装, 必须采用薄膜封装技术 (Thin-Film Encapsulation, TFE)或混和封装技术, 针对薄膜封装推出电浆辅助式化学气相沉积, 原子层沉积和聚对二甲苯沉积等三种设备, 且使用低温的沉积技术, 分别在OLED 上堆栈多层薄膜 (SiNX, SiOXNX, Al2O3, ZnO, Parylene) 并得到更好的保护层, 以减少水氧对于有机组件的影响, 从而提高OLED面板的寿命和性能.
配置和优点:
客制化的基板尺寸, -大直径为12寸晶圆或 470 x 370 mm2 (玻璃)
优异的薄膜均匀度小于±3%
用于有机材料的蒸发源（可用金属、陶瓷、石墨或PBN坩埚）
镀率自动控制: -小值为 0.01Ǻ/s
蒸发源温度控制可达到精度 ±0.1oC
具有顺序操作或共沉积的多个蒸发源
用 CCD 对位将玻璃基板和屏蔽的位置对准在 ±5μm以内
每个蒸发源和基材均有安装遮板, 百叶窗
金属热蒸镀设备基本参数:
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系统类型 |
超高真空 |
高真空 |
高真空紧凑型 |
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腔室设计 |
镍垫圈密封 |
O型圈密封 |
O型圈密封 |
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极限真空 |
5X10-9 Torr |
3X10-7 Torr |
5X10-7 Torr |
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腔室密封 |
一些密封圈 |
全部密封圈 |
全部密封圈 |
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Load-lock |
标准 |
标准 |
可选 |
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蒸发源 |
舟型或坩埚 |
舟型或坩埚 |
舟型或坩埚 |
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基板 |
4-8 英寸 |
4-8 英寸 |
2-4 英寸 |
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真空泵 |
低温泵 / 分子泵 |
低温泵 / 分子泵 |
分子泵和油泵 |
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监控 |
真空规 和 QCM |
真空规 和 QCM |
真空规 和 QCM |
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工艺控制 |
速率控制 |
速率控制 |
速率控制 |
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供气 |
氮气 |
氮气 |
氮气 |
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手套箱连接 |
可选 |
可选 |
可选 |
腔体
由304不锈钢所制成，通过外部焊接304不锈钢管线对腔体进行水冷
宽大的前开式门, 并有两个窗口和窗口遮版用于观察基材和蒸发源
一个热蒸发腔体内，-多可容纳12组热蒸发源
腔体的极限真空度约为 10-8 Torr
选件
可以与传送腔, 机械手臂和手套箱整合在一起
残留气体分析仪
应用领域
有机发光二极管
有机光伏打电池
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