残余气体分析仪 Hicube RGA
上海伯东销售维修德国 Pfeiffer 残余气体分析仪 HiCube RGA. 四极杆质谱 PrismaPro 与 HiCube 涡轮分子泵组的完美搭配, 质量数范围 1-300, 高分辨率和灵敏度. 适用于残余气体分析, 过程监测, 泄漏检测.
残余气体分析仪 Hicube RGA 优势
残余气体分析和氦气泄漏检测模式
可用于从大气压至高真空环境
高分辨率和灵敏度
通过真空压力监测保护灯丝
进气系统带集成式切断阀
Pfeiffer 残余气体分析仪 Hicube RGA 技术规格
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涡轮分子泵组 |
HiCube™ Eco |
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功耗 |
170W |
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电压（范围） |
110 - 240 V; 50 / 60 Hz |
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氮气抽速 |
67 l/s |
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前级泵在 50 Hz 时的泵送速度 |
1 m3/h |
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极限真空 |
<1X10-7 hPa |
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真空计 |
PKR 361 |
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测量范围 |
1X10-9 至 1X103 hPa |
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阀门 |
EVN 116 |
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气体流量 |
可调整, 自 5X10-6 至 3X103 hPa l/s |
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进气口 |
DN 16 ISO-KF |
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PrismaPro |
QMG 250 F1 |
QMG 250 F2 |
QMG 250 F3 |
QMG 250 M1 |
QMG 250 M2 |
QMG 250 M3 |
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检测器 |
法拉第 Faraday (F) |
电子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M) |
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质量数 amu |
1–100 |
1–200 |
1–300 |
1–100 |
1–200 |
1–300 |
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四极杆直径／长度 |
6 /125 mm |
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-小检测极限 F hPa *1,2 |
4X10-13 |
5X10-13 |
7X10-13 |
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-小检测极限 M hPa *1,2 |
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- |
3X10-15 |
4X10-15 |
5X10-15 |
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对Ar的灵敏度 F A/hPa*3 |
5X10-4 |
4X10-4 |
3X10-4 |
5X10-4 |
4X10-4 |
3X10-4 |
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-大工作压力 F hPa |
5X10-4 |
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-大工作压力 M hPa |
- |
- |
- |
5X10-5 |
5X10-5 |
5X10-5 |
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对临近质量数的影响*1 |
< 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
< 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
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操作温度 分析 |
200 °C (max. 150 °C when operating with SEM) |
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操作温度 电子 |
5 – 50 °C |
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烘烤温度 分析 |
300 °C |
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连接法兰 |
DN 40 CF-F |
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保压时间 |
1 ms – 16 s/amu |
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峰比值可重复性 |
± 0.5 % |
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接口 |
以太网 |
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电源电压 |
100–240 V AC，50/60 Hz |
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HiCube™ RGA重量 |
25.5 - 26.2 kg |
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残余气体分析仪 Hicube RGA 典型应用
残余气体分析: 对真空系统中残余气体的分析, 可以获知在达到所需的-终压力或调节要求时, 残余物质的组成. 由此可以得出各种有关系统表面性质, 脱附行为, 纯度和密封性以及工艺气体成分的结论. 这将为您提供有关真空室或真空组件状态的重要信息.
泄漏检测: 上海伯东 Pfeiffer 残余气体分析仪 HiCube RGA 具有氦气泄漏检测模式, 可以通过软件控制激活. 此功能可以方便您发现真空系统中的任何泄漏.
过程监控: HiCube RGA 可以在-大 300u 的测量范围内随时间观察任意数量的选定质量强度, 并可对选定的各质量分配警报循环阈值. 如果它们高于或低于所需极限, 则可以通过数字输出将信号提供给更高级别的控制系统. 因此残余气体分析仪 HiCube RGA 能够提供实时过程观察和控制功能. EVN 116 气体计量阀还可以使真空系统中的压力适应相应过程需求, 此外, 集成式切断阀还允许对泄漏设定点进行快速开/关控制.
质量保证和过程优化: 诸如提供气体成分定量测定, 确定过程气体纯度, 以及监测真空镀膜过程相关气体成分等能力, 残余气体分析仪 HiCube RGA 是过程记录和质量保证中的重要工具. 即使测量正在执行, 所有测量值也会得到存储, 并且可以在不停止测量的情况下追踪. 即使仍在执行测量, 也可以导出测量结果以进行进一步分析.
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